-
晶圓潔凈廠房凈化空調設計準則
晶圓潔凈廠房凈化空調設計準則 名詞解釋： 1、晶圓 晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能的集成電路產品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達99.999999999%。 1、晶圓潔凈廠房 潔凈廠房也叫無塵車間、潔凈室(Clean Room），是指將一定空間范圍之內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除…
